U svijetu proizvodnje poluprovodničke opreme,kvalitet površine nije samo estetika-već je i funkcija, dugovječnost i preciznost. Komponente kao što su stezne glave, nosači objektiva i precizne vodilice moraju zadovoljiti ne samo tolerancije dimenzija, već iekstremni zahtevi za završnu obradu površine, često ispodRa 0,1 μm.
Zašto je nanometarski{0}}nivo površine važan
Poluprovodnička oprema visokih{0}}performansi se u velikoj mjeri oslanja na tačnost kontakta i kompatibilnost čistih prostorija. Hrapavost površine koja prelazi nanometarski prag može:
Ometatitačnost postavljanja pločice
Povećajtrenja i habanjatokom kretanja
Uzrokoptičko rasipanje signala, što utiče na fotolitografiju
Kreirajzamke čestica, povećavajući rizik od kontaminacije
Na primjer, apotporni prsten za vafersku fazusa hrapavošću površine iznad specifikacije može uzrokovati mikro-vibracije, smanjujući preciznost pozicioniranja i smanjujući učinak.
Izazov CNC obrade
Postizanje završne obrade površine Ra manje od ili jednako 0,1 μm daleko prevazilazi standardne CNC procese. Tradicionalni alati i parametri često ostavljaju iza sebe mikro-ogrebotine, tragove obrade ili zaostalo naprezanje-što je sve neprihvatljivo u poluvodičkim okruženjima.
Naš pristup nanometarskom{0}}nivou kvaliteta
AtBISHEN Precision, razvili smo procese obrade posebno za površinske{0}}osjetljive aplikacije:
Upotreba odultra-alati od finog zrna karbidasa prilagođenim geometrijama
Poliranje prolaziintegrisani u finalne putanje alata
Kontrolni sistemi rashladne tečnostikako biste izbjegli mikro-suze izazvane toplinom
Koordinacija saCMM i interferometri belog{0}}svetlaza potvrdu hrapavosti
Svaki dio prolazi više-inspekciju ne samo za tolerancije dimenzija, već i zasub-mikronska konzistencija površinepreko svih kontaktnih ravni.
Pravo kućište: zrcalno{0}}završene potporne ploče
Klijentu su bile potrebne aluminijske pločice s boljom površinom odRa 0,05 μm, ujednačen po cijelom čvoru. Koristeći optimizovane-tehnike završne obrade velike brzine i prilagođene strategije poliranja, isporučili smo komponente koje su premašuju specifikacije-spremne za EUV-sastavljanje na nivou čiste sobe.
Ne dozvolite da završna obrada potkopa vaš sistem
Nesavršenost površine na nanoskali može tiho ugroziti vaše najpreciznije mehanizme. Ako vaša aplikacija zahtijevazavršne obrade optičkog{0}}klasa, ilisuperiorne performanse trenja, pričaj sa nama. Pomoći ćemo vam da osigurate da vaši dijelovi ispunjavaju obatolerancijeitekstura.
