Pozadina slučaja: "Problem sa hiljadu{0}}rupa" u proizvodnji čipova

U području obrade poluvodičkih čipova, kvarcno staklo se široko koristi u proizvodnji raspršivača u procesu jetkanja zbog svoje visoke čistoće, otpornosti na visoke temperature i kemijske stabilnosti. Zahtjevi za obradu vodećih proizvođača opreme za čipove za kvarcne raspršivače su vrlo reprezentativni:
Materijal: kvarcno staklo (tvrdoća HV700)
Osnovne karakteristike: 0.5mm prečnik, 5mm duboke mikro-rupe (odnos-prema{4}}prečnika 10:1), 4.996 rupa treba ravnomerno obraditi na disku prečnika 280mm
Zahtjevi za preciznost: Zaobljenost rupe Manja ili jednaka ±5μm, greška položaja<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Proizvođač je prvobitno koristio tradicionalnu tehnologiju bušenja, ali se suočio s dva fatalna problema:
Usko grlo efikasnosti: Obrada jedne rupe traje 270 sekundi, a obrada jednog diska zahtijeva kontinuirani rad 34 dana;
Prinos izvan kontrole: Urušavanje ruba rupe dostiže 0,4 mm, što rezultira u više od 30% radnih komada napuknuto i otpačeno zbog koncentracije naprezanja.
BISHEN rješenja: Ultrazvučna tehnologija potkopava tradicionalne zanate
S obzirom na krhke i tvrde karakteristike kvarcnog stakla, BISHEN R&D tim je predložio ultrazvučni sistem preciznog graviranja i glodanja, koji je probio tri tehničke inovacije:
① Visoko-tehnologija ultrazvučnog smanjenja vibracija
Ultrazvučna vibracija od 20 kHz skraćuje vrijeme kontakta između burgije i materijala na mikrosekunde, smanjuje silu rezanja za 65% i potiskuje urušavanje ruba od korijena.
② Integralno prilagođavanje PCD bušilice
Bušilica je napravljena od dijamantskog kompozitnog lima (PCD) u jednom komadu, sa preciznošću luka rezne ivice od ±2μm i sistemom aksijalnog korekcije od 0,01 stepena kako bi se osigurala ravnost rupa dubokih 5 mm.
③ Alat za pozicioniranje vakuumske adsorpcije
Vazdušna plutajuća platforma sa nezavisnom kontrolom višestrukih oblasti stabilizuje grešku ravnosti kvarcnog diska od 280 mm unutar 0,005 mm, eliminišući devijaciju pozicije bušenja.
Poređenje podataka obrade: dvostruki skok u efikasnosti i tačnosti

Rješenje je potvrđeno od strane kupaca u masovnoj proizvodnji tri uzastopna mjeseca, a prinos ploče za prskanje porastao je sa 67% na 98%, štedeći proizvođačima više od 8 miliona juana u troškovima gubitka kvarcnog materijala svake godine.

Industrijska inspiracija: tehnička prekretnica precizne obrade
Obrada mikro-otvora kvarcnog stakla je nekada bila karika "uskog grla" koja je ograničavala nadogradnju opreme za čipove. Kroz inžinjersku primjenu ultrazvučne tehnologije, BISHEN ne samo da je riješio problem mikro-obrade rupa sa omjerom dubine-prema-prečnika 10:1, već je i verifikovao novu paradigmu za preciznu obradu krhkih i tvrdih materijala - Zamjenom alata za jednostavno povećanje vibracione tvrdoće{8} control, koji ima univerzalnu vrijednost za ultra-preciznu obradu u industrijama kao što su keramika i optičko staklo.
O Bishen Precision
BishenPrecision se fokusira na visoko{0}}proizvodnju metalnih dijelova. Oslanjajući se na modernu proizvodnu bazu od 7.500 kvadratnih metara, pruža rješenja na jednom mjestu za složene strukturne dijelove u oblastima zrakoplovstva, medicinske mašinerije i robotike. Kompanija uzima "ekstremnu preciznost i pouzdanu isporuku" kao svoju osnovnu konkurentnost i ima mogućnost pružanja potpunih-usluga procesa od modifikacije materijala, više-obrade povezivanja na više osa do mikronskog-ispitivanja. Poseduje ISO 13485 sistem upravljanja kvalitetom medicinskih uređaja, AS9100 sertifikat za vazduhoplovstvo i druge kvalifikacije, i isporučio je više od 200.000 ključnih delova ukupno, pomažući kupcima da probiju granice precizne proizvodnje.







