Studija slučaja: Proboj u obradi podloge od kvarcnog stakla
Predmet obrade: podloga od kvarcnog stakla za fotolitografiju
specifikacije:
Materijal: 99,99% kvarcno staklo-visoke čistoće
Karakteristike obrade: obostrano -košenje C0.2 + vertikalni bočni zid
Površinski zahtjevi: Ra < 150nm (ogledalo)
Dimenzije: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Analiza industrijske obrade bolnih tačaka
Kao osnovni potrošni materijal opreme za proizvodnju poluprovodnika, kvarcni dijelovi za fotolitografiju moraju istovremeno zadovoljiti tri stroga standarda: propusnost materijala > 99,6%, tolerancija dimenzija ±10 μm i hrapavost bočne stijenke Ra < 150 nm. Tradicionalna metoda obrade koristi proces brušenja točaka za brušenje, koji ima dva glavna problema u industriji:
Usko grlo efikasnosti: pojedinačni-obrada traje do 120 minuta
Površinski defekti: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
Gubitak alata: vijek trajanja običnog alata je manji od 50 komada
BISHENrješenja tehnološke inovacije
S obzirom na čvrste i krhke karakteristike kvarcnih materijala, kompozitrješenje za obraduse usvaja:
• 20kHz ultrazvučno precizno graviranje i glodanje
• Integralna PCD mikro{0}}glodalica (ivica R0,05mm)
• Aksijalno slojevito sečenje (2μm po sloju)
Poređenje izmjerenih prednosti obrade
Kroz verifikaciju i poređenje procesa, ključni pokazatelji su značajno poboljšani:
Vrijednost primjene u industriji
Ovo rješenje uspješno je riješilo problem "uskog grla" obrade u procesu lokalizacije dijelova litografskih strojeva, povećavajući kapacitet proizvodnje kvarcne podloge sa 10 komada dnevno na 50 komada, te stopu kvalifikovanosti obrade sa 63% na 98,5%. Prema detekciji Zeiss laserskog interferometra, PV vrijednost tačnosti površine obrade je<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
Bishen Precisionspecijalizovana je za preciznu obradu hardverskih delova, sa 7.500 kvadratnih metara standardizovanih radionica, a usluge pokrivaju vazduhoplovstvo, medicinsku opremu, industrijske robote i druga polja. Sa mogućnošću obrade složenih strukturnih dijelova i ISO certifikatom sistema, kupcima pruža potpuna-procesna rješenja od dizajna i razvoja do masovne proizvodnje.
