U industriji poluprovodnika,mikronska-preciznost nivoanije luksuz-to je osnova. Komponente koje se koriste usistemi za rukovanje pločicama, komore za graviranje, ifotolitografski alatizahtijevajutolerancije dimenzijačesto ispod 5 mikrona. Tradicionalne CNC metode obrade se bore da zadovolje takve zahtjeve bez specijalizirane kontrole procesa i mjeriteljstva.
Izazov: kada su mikroni bitni
Za razliku od konvencionalnih industrijskih dijelova, poluvodičke komponente moraju:
Održavajteekstremna ravnost i paralelizam
Haveprecizno poravnanje rupa i nagib
Osiguratiminimalni površinski nedostacišto može uticati na vakuum ili optičke performanse
Čak i najmanje odstupanje može dovesti do:
Neusklađenost tokom prijenosa pločice
Gubitak tačnosti u projekciji fotomaske
Gubitak prinosa zbog kontaminacije ili geometrijskog pomaka
Primjer iz stvarnog-svijeta: Okviri alata za litografiju
U jednom projektu koji uključuje alagani okvir od legure aluminijumaza fotolitografski sistem,tolerancija ispod 5 μmbio je potreban na montažnim površinama kako bi se osiguralosavršeno poravnanje prekrivanjauzoraka čipova.
Da bismo to postigli, primijenili smo:
5-osna CNC obrada sa termičkom kompenzacijom
Niska-vibracija, velika-kontrola vretena
Dimenzionalno ispitivanje-u realnom vremenu i petlje povratnih informacija
Bez takve preciznosti, pomak od samo 10 μm mogao bi izobličiti poravnanje maske i smanjiti prinos čipova-što bi klijenta koštalo značajnog zastoja i gubitka materijala.
Naš proces naBISHEN Precision
Opslužujemo poluvodičke OEM proizvođače sa:
Ultra-precizno CNC glodanje i tokarenje (ponovljivost ±2~5μm)
Ra Manje ili jednako 0,2 μm završne obrade površineza kritično zaptivanje ili optičke zone
Pakovanje{0}}kompatibilno s čistim prostorima
CMM i lasersko skeniranje inspekcija sa sljedivim izvještajima
Naš tim razumijekritičnost svakog mikrona-i podupire ga iskustvom u pružanju usluga istraživanja i razvoja i velikih-miksova niskog obima-proizvodnih okruženja.
Zašto je važno
U proizvodnji poluprovodnika geometrija je sve. Svako izobličenje, neusklađenost ili neravnina može rezultirati:
Izobličenje uzorka
Greške u rukovanju pločicama
Kvar vakuumskog sistema
Precizna obrada se ne odnosi samo na uske tolerancije-već i na osiguravanjefunkcionalnost i pouzdanostopreme za proizvodnju čipova sljedeće-generacije.
