Analiza objekta obrade
Materijal: optičko kvarcno staklo
Karakteristike obrade: više-brušenje kontura na više površina (uključujući 3 asimetrične fasete)
Ključne dimenzije: 16×16×10 mm (greška ±0,002 mm)
Ova kvarcna prizma, koja je veličine samo nokta, je osnovni svjetlosni-element za vođenje optičkog sistema domaće vrhunske litografske mašine. Njegovih 8 složenih zakrivljenih površina treba da postignu 99,6% propusnosti i nanometarsku{5}}tačnost prelamanja, a hrapavost površine direktno utiče na rezoluciju ekspozicije litografske mašine.
Bolne tačke u industriji i tehničke poteškoće
Kompanija za optičku tehnologiju naišla je na usko grlo u obradi kvarcnih prizmi kada je promovirala lokalizaciju litografskih strojeva:
Tradicionalni defekti brušenja: Hrapavost nakon ručnog poliranja i dalje doseže Sa 120nm, što rezultira gubitkom raspršenja svjetlosti od 15%
Zavisnost opreme od uvoza: Cijena jedne japanske ultra{0}}precizne brusilice premašuje 20 miliona juana, a rok isporuke je čak 18 mjeseci
Kriza prinosa: Samo 32 od prve serije od 500 probnih produkcija ispunile su standarde, što je ozbiljno otežalo napredak projekta
Dilema "ne mogu priuštiti uvoznu opremu, a domaći procesi nisu dobri" direktno je blokirala proces razvoja samostalne litografske mašine.
BISHENrješenja
Kao odgovor na ekstremne zahtjeve preciznosti optičkih komponenti, BISHEN tehnički tim je razvio inovativna istraživanja i razvoj:
1. Ultrazvučni vertikalni sistem za obradu pet{2}}osnih veza
2. 0.1μm-nivo dinamičke kompenzacije, precizna kontrola 18-osnih alatnih mašina
3. Usklađivanje asimetrične površine CAD/CAM inteligentno programiranje
4. Visoko-Tehnologija brušenja uz pomoć ultrazvuka
5. 40kHz ultrazvučna vibracija smanjuje 52% naprezanja rezanja i izbjegava kvarcne mikropukotine
6. Dijamantski mikro{1}}životni vek brusnog toka je produžen za 3 puta
Stvarni izmjereni skok performansi
Ostvarena su tri velika proboja u masovnoj proizvodnji određene vrste prizme domaće litografske mašine:
1. Kvalitet površine: Hrapavost Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Efikasnost obrade: radni sati za jedan-radni sati su komprimirani sa 14 sati na 3,5 sata
3.Kontrola troškova: Ulaganje u opremu je samo 1/5 uvezenog rješenja
Stopa prinosa prve serije od 3.000 proizvoda skočila je na 98,7%, pomažući kupcima da završe sklapanje prototipa 6 mjeseci prije roka
OBISHEN
BISHENPrecision Technology (osnovana 2017.) fokusira se na probijanje tehnologije "uskog grla" u oblasti vrhunske proizvodnje. Izgradio je digitalnu fabriku od 7.500 kvadratnih metara u Dongguanu, opremljenu uvezenom opremom, kao što su obradni centri sa pet-osnih spojnica i ultra{6}}precizne optičke brusilice. Primenom inovativnih tehnologija kao što su ultrazvučna obrada i kriogeno sečenje na poluprovodničkoj opremi, optoelektronskim instrumentima i drugim oblastima, obezbedio je ključna rešenja za obradu delova za više od 20 domaćih kompanija u lancu industrije litografskih mašina i isporučio više od 500.000 preciznih optičkih komponenti.
