Jedan od naših kupaca poluprovodnika-EU-OEM sa sjedištem u EU, specijaliziran za EUV litografiju-prišao nam je s izazovom: proizvesti visoku-gustinumikrokanalna rashladna pločaizrađen od 6061-T6 aluminijuma. Komponenta je potrebna preko1200 mikro{2}}rupa, svakiØ 0,18 mm, sa aomjer dubine{0}}prema-promjeru 10:1, itačnost položaja ispod ±5 μmpo cijeloj površini dijela.
Ključni izazovi su uključivali:
Slom alatazbog ekstremnih odnosa stranica
Održavanjeravnost rupepreko velikih dubina bušenja
Osiguravanjeevakuacija čipovabez deformisanja mikro-rupa
Sprečavanjetermička distorzijatokom kontinuiranog bušenja
Da bismo ih riješili, koristili smo:
Specijalizovani alati za mikro{0}}bušilicesa unutrašnjim kanalima za rashladnu tečnost
Više{0}}korakstrategije bušenjasa kontrolom zadržavanja i uvlačenja
Ultrazvučno{0}}potpomognuto ispiranjekako bi se osiguralo čišćenje strugotine
U-procesutermička stabilizacijaizmeđu prolaza za kontrolu proširenja
Nakon višestrukih iteracija i simulacija, implementirali smo a2-prolazni proces bušenja i razvrtanjačime je postignuta konzistentna geometrija rupa i unutrašnje površine{0}}bez neravnina. Nakon{2}}provjera obrade pomoću a500× digitalni mikroskopiCMM sa skeniranjem sondepotvrđeno:
Sve rupe unutra±3 μmopseg tolerancije
Hrapavost površine ispodRa 0,2 μm
Odstupanje -u-unutar razmaka rupa±4 μmpreko 150 mm × 150 mm matrice
Komponenta je prošla testove curenja helijuma, testiranje efikasnosti toplotnog prenosa i prihvaćena je u pilot-konstrukciju kupca bez dorade.
